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     真空技术性的真空水蒸气蒸馏，使碳氢化合物清洗机再造多次重复使用。清洗剂的水蒸气蒸馏再造，便是运用清洗剂与污渍中间的沸点差，将溶物油渍的清洗剂加温到清洗剂的沸点之上而操纵在油渍的沸点下列，使清洗剂气化，随后根据冷疑设备使之再次凝固成纯粹的清洗剂，而沸点较高的油渍和机械设备残渣则留到蒸馏罐的底端。苯的同系物清洗剂因为沸点低且不易燃，水蒸气蒸馏再造相对性非常容易，因此 ，很多苯的同系物清洗剂都附加有水蒸气蒸馏再造设备。而碳氢化合物清洗剂因为沸点高而开口闪点较低，在自然压下水蒸气蒸馏再造是不太可能的。真空清洗干燥机设备的水蒸气蒸馏再造设备在高真空下使碳氢化合物清洗剂的沸点减少到80℃，使清洗槽中融解了油渍的清洗水溶液不断抽入蒸馏装置，在真空中加温挥发，再历经冷疑变成清理有机溶剂返回清洗槽中，使清洗液自始至终保持干净情况。油渍则留到蒸馏装置底端，按时排出来。

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